真空炉中钎焊设备主要由真空钎焊炉和真空系统两部分组成。真空钎焊炉大致有两种类型,热壁炉和冷壁炉。两种炉子可用燃气加热或电热,可设计成侧装炉、底装炉或顶装炉(坑式)结构。真空系统可以通用。
真空系统主要包括真空机组、真空管道、真空阀门等。真空机组通常由旋片式机械泵和油扩散泵组成。单用机械泵只能得到低于1.35×10-1Pa级的真空度。要获得高真空必须同时使用油扩散泵,此时能达到1.35×10-4Pa级的真空度。系统内的气体压力用真空测量。
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